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近日,中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置,成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品,单片面积达到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%,是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。
(文章来源:科技日报)
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来源:科技日报 发布时间:2023-10-16 14:22:56
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近日,中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置,成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品,单片面积达到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%,是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。
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