国家集成电路产业投资基金(简称“大基金”)正在围绕半导体产业，一步一步扎牢产业基础。最新的动向是，大基金开始布局半导体设备零部件。
3月30日晚间，万业企业披露，大基金二期、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙)(简称“装备材料基金”)拟向公司参股子公司浙江镨芯分别增资3.5亿元、0.4亿元。这也是大基金首次布局半导体零部件公司。本次增资后，公司仍为浙江镨芯第一大股东持股29.63%，大基金二期持股17.284%。
根据公告，2020年12月，万业企业联合境内外投资人以浙江镨芯和镨芯控股为持股主体收购Compart Systems Pte. Ltd.(简称“Compart公司”)100%股权，交易价格为3.98亿美元。浙江镨芯直接持有镨芯控股73.11%股权，镨芯控股直接持有Compart 公司100%股权。截至2021年12月31日评估基准日，Compart 公司股东全部权益为27.86亿元，各方确认浙江镨芯投前估值为15.85亿元。
公开资料显示，Compart 公司是全球领先的半导体设备所需的零部件供应商，也是全球极少数可完成流量控制领域零组件精密加工全部环节的公司之一，产品主要包括气体输送零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器(MFC)等，是集成电路行业中高端MFC组件的领先者，公司在中国深圳及马来西亚库林拥有两座工厂。凭借独特的密封件制造工艺和技术，公司多年来服务多家全球知名集成电路设备客户且供应关系稳定保持。
在收购Compart公司后，万业企业还抓住半导体设备高景气机遇，于去年6月签约海宁启动Compart制造中心项目，总投资约30亿元。目前，Compart 公司相关产品已打入国内半导体设备公司供应链，营收持续增长。据悉，浙江镨芯2021年度营业收入约9.2亿元。
增资浙江镨芯是大基金首次布局半导体设备零部件领域，意味着其对半导体零部件环节未来发展前景的看好和重视，有助于打造更为完整的本土半导体产业生态圈。
目前，万业企业已在原有的集成电路离子注入机设备基础上叠加了刻蚀机、快速热处理/褪火、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等多款前道设备，形成“1+N”产品平台模式。
（文章来源：上海证券报）
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